超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動背壓閥

產品名稱: 超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動背壓閥

產品型號: L.TEX9220系列

產品特點: 超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動背壓閥

日本 L-TEX 9220 系列是一款「節省空間?超高壓?自動背壓閥」，把“電機-滾珠絲杠-活塞"全部做進一個 96 mm 見方的鋁殼里，最高可穩到 100 MPa，專門解決半導體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計量泵等場合的“小流量、高壓力、背壓不穩"痛點。一句話：用比減壓閥還小的體積，實現背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下：

超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動背壓閥 的詳細介紹

超高壓緊湊型耐壓型高壓微流量自動背壓閥

日本 L-TEX 9220 系列是一款「節省空間?超高壓?自動背壓閥」，把“電機-滾珠絲杠-活塞"全部做進一個 96 mm 見方的鋁殼里，最高可穩到 100 MPa，專門解決半導體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計量泵等場合的“小流量、高壓力、背壓不穩"痛點。一句話：用比減壓閥還小的體積，實現背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下：

壓力規格

控制范圍：0.5–100 MPa（5 段量程彈簧可選，出廠標定）
重復精度：≤ ±0.2 % F.S.（實測 70 MPa 點 10 萬次循環漂移＜0.05 MPa）
耐壓：150 MPa（閥體 316L 整體鍛打，無焊縫）
泄漏率：≤ 1×10?? Pa·m3/s（He 檢漏，金屬面密封）

流量與介質

Cv 值：0.06 / 0.15 / 0.3 三檔閥芯可換，最小可控流量 5 mL/min
介質：純水、DI-water、超臨界 CO?、氟化液、H?O?、IPA 等（接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可選）
溫度：0–90 ℃（標準 Viton），高溫型 150 ℃（全 PTFE 彈簧腔）

驅動與信號

電機：24 V DC 步進電機 + 滾珠絲杠，行程 8 mm，全行程時間 2 s
反饋：內置 0–10 V 壓力傳感器（精度 ±0.1 %），同時輸出 4–20 mA & RS-485（Modbus RTU）
功耗：最大 18 W，穩態 3 W，可 100 % 連續工作

體積與安裝

本體：96 × 96 × 120 mm（不含接頭），重量 2.8 kg，面板或支架任意方向
接口：1/4" HP 錐螺紋（Swagelok 60°）或 9/16"-18 UNF 超高壓平口，可 360° 旋轉接管
防護：IP54 正面，電子腔灌膠，可在機臺內部密集并排安裝，節省 50 % 以上空間

典型用法

高壓計量泵后做“虛擬背壓"——替代傳統手調背壓閥 + 壓力表，閉環精度高 10 倍
單晶圓清洗機：100 MPa 微射流噴嘴前穩壓，防止泵脈動造成流量跳檔
超臨界 CO? 萃取：背壓 30–80 MPa 區間 0.1 MPa 步進，提高萃取效率 15 %
高壓反應釜：作為“泄壓/背壓"兩用，遠程設定即可切換

選型提示

若流量＞3 L/min 或管徑≥3/8"，請選 9230 系列（Cv 0.6，體積 120 mm）
若控制壓力＜15 MPa，可選 9210 經濟型（體積 80 mm，無 RS-485）
需要防爆場合，廠家提供 9220-EX 型（ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb）

一句話總結：L-TEX 9220 系列把“100 MPa 超高壓、±0.2 % 精度、96 mm 巴掌大"三件事同時做到，是高壓微流量系統里“最省空間、最穩背壓"的自動背壓閥。

日本 L-TEX 9220 系列是一款「節省空間?超高壓?自動背壓閥」，把“電機-滾珠絲杠-活塞"全部做進一個 96 mm 見方的鋁殼里，最高可穩到 100 MPa，專門解決半導體/液晶清洗、超臨界萃取、高壓計量泵等場合的“小流量、高壓力、背壓不穩"痛點。一句話：用比減壓閥還小的體積，實現背壓閥的超高精度與耐壓。核心信息如下：