低電導液體用超純水分支流量監視流速計

低電導液體用超純水分支流量監視流速計

日本東京計裝（TOKYO KEISO）FA-3000 系列是純水、超純水（UPW）等低電導液體的專用「流量監測器／流量計」——不是普通電磁計，而是非接觸、無電極、渦旋脫落（Vortex Shedding）原理

? 1. 工作原理

流體通過鈍體（shedder bar）產生卡門渦街

采用壓電晶體傳感器檢測渦街頻率 → 頻率與流速成正比

無電極、非接觸測量，電導率下限可達 0.01 µS/cm（超純水級別）

輸出為脈沖或 4-20 mA，可接 DCS/PLC 做總量或流量控制

? 2. 型號體系

表格

復制

型號通徑流量范圍（純水）連接

FA-3001DN150.3 – 5 L/min1/2" SW / TC

FA-3002DN251 – 20 L/min3/4" SW / TC

FA-3003DN405 – 50 L/min1" SW / TC

FA-3004DN5010 – 100 L/min1-1/2" SW / TC

SW = Socket Weld；TC = Tri-Clamp（衛生卡箍）

? 3. 接液材質與潔凈設計

本體：PFA 內襯 + 不銹鋼 316L 外殼（電解拋光 Ra ≤ 0.4 µm）

** Shedder bar：PFA 包覆陶瓷，無金屬裸露**

傳感器：壓電陶瓷片，全樹脂封裝，無電極、無密封圈

潔凈清洗：出廠去離子水 > 18 MΩ·cm 沖洗 + 氮氣烘干，Class 100 包裝

無潤滑油：磁力耦合傳動，零油脂污染

? 4. 輸出與電源

表格

復制

項目規格

電源DC 24 V ±10 %，< 0.2 W

輸出脈沖（集電極開路，Max 30 V/20 mA）

4-20 mA（兩線制，負載 ≤ 500 Ω）

通訊可選 RS-485 Modbus RTU

溫度/壓力0 – 80 °C，Max 1.0 MPa

防護IP65，可定制 IP68 潛水型

? 5. 典型應用點

半導體 FAB UPW 主管道 → 機臺分支流量報警

面板廠 顯影液/漂洗水 流量監視

制藥 WFI 循環系統 支路流量平衡

電廠 精處理混床出口 低流量保護

實驗室 18 MΩ 超純水機 取水計量

日本東京計裝（TOKYO KEISO）FA-3000 系列是純水、超純水（UPW）等低電導液體的專用「流量監測器／流量計」——不是普通電磁計，而是非接觸、無電極、渦旋脫落（Vortex Shedding）

? 1. 工作原理

流體通過鈍體（shedder bar）產生卡門渦街

采用壓電晶體傳感器檢測渦街頻率 → 頻率與流速成正比

無電極、非接觸測量，電導率下限可達 0.01 µS/cm（超純水級別）

輸出為脈沖或 4-20 mA，可接 DCS/PLC 做總量或流量控制

? 2. 型號體系

表格

復制

型號通徑流量范圍（純水）連接

FA-3001DN150.3 – 5 L/min1/2" SW / TC

FA-3002DN251 – 20 L/min3/4" SW / TC

FA-3003DN405 – 50 L/min1" SW / TC

FA-3004DN5010 – 100 L/min1-1/2" SW / TC

SW = Socket Weld；TC = Tri-Clamp（衛生卡箍）

? 3. 接液材質與潔凈設計

本體：PFA 內襯 + 不銹鋼 316L 外殼（電解拋光 Ra ≤ 0.4 µm）

** Shedder bar：PFA 包覆陶瓷，無金屬裸露**

傳感器：壓電陶瓷片，全樹脂封裝，無電極、無密封圈

潔凈清洗：出廠去離子水 > 18 MΩ·cm 沖洗 + 氮氣烘干，Class 100 包裝

無潤滑油：磁力耦合傳動，零油脂污染

? 4. 輸出與電源

表格

復制

項目規格

電源DC 24 V ±10 %，< 0.2 W

輸出脈沖（集電極開路，Max 30 V/20 mA）

4-20 mA（兩線制，負載 ≤ 500 Ω）

通訊可選 RS-485 Modbus RTU

溫度/壓力0 – 80 °C，Max 1.0 MPa

防護IP65，可定制 IP68 潛水型

? 5. 典型應用點

半導體 FAB UPW 主管道 → 機臺分支流量報警

面板廠 顯影液/漂洗水 流量監視

制藥 WFI 循環系統 支路流量平衡

電廠 精處理混床出口 低流量保護

實驗室 18 MΩ 超純水機 取水計量