產(chǎn)品資料
高穩(wěn)定性深紫外半導(dǎo)體膜厚測定紫外光源氙燈
產(chǎn)品名稱: 高穩(wěn)定性深紫外半導(dǎo)體膜厚測定紫外光源氙燈
產(chǎn)品型號: A3611S
產(chǎn)品特點: 高穩(wěn)定性深紫外半導(dǎo)體膜厚測定紫外光源氙燈用于半導(dǎo)體膜厚測定深紫外 DUV 氙燈 · 200-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 < ±0.5 %半導(dǎo)體膜厚測定 / 反射率 / 橢圓偏振 / UV-Vis 光譜
高穩(wěn)定性深紫外半導(dǎo)體膜厚測定紫外光源氙燈 的詳細介紹
高穩(wěn)定性深紫外半導(dǎo)體膜厚測定紫外光源氙燈
高穩(wěn)定性深紫外半導(dǎo)體膜厚測定紫外光源氙燈
紫外光源氙燈 A3611S
用于半導(dǎo)體膜厚測定
深紫外 DUV 氙燈 · 200-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 < ±0.5 %
半導(dǎo)體膜厚測定 / 反射率 / 橢圓偏振 / UV-Vis 光譜
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體膜厚測定：SiO?、Si?N?、光刻膠、Al?O?、GaN 等 DUV 波段薄膜
- 深紫外氙燈：200-400 nm 峰值，適合 < 10 nm 超薄膜高分辨率
- 高穩(wěn)定性：光強漂移 < ±0.5 %，滿足膜厚重復(fù)性 ≤ 0.1 nm
- Milas 供應(yīng)：日本原廠，真空/大氣雙版本，真空度 ≤ 1×10?? Pa
二、核心技術(shù)參數(shù)（A3611S）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 光源類型 | 深紫外氙燈（DUV-Xenon） |
| 波長范圍 | 200 – 400 nm（峰值 280 nm） |
| 輸出功率 | 150 mW（@ 280 nm，真空版） |
| 穩(wěn)定性 | < ±0.5 %（10 min，恒溫） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置除塵窗） |
| 燈壽命 | >5,000 h（真空版） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含驅(qū)動器） |
| 接口 | FC/SMA905 光纖（真空饋通） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.3 kg（燈頭） |
三、功能亮點
- 200-400 nm DUV：深紫外波段，適合 < 10 nm 超薄膜測定
- 高穩(wěn)定性 < ±0.5 %：膜厚重復(fù)性 ≤ 0.1 nm，無需頻繁校準
- 真空/大氣雙版本：真空度 ≤ 1×10?? Pa，潔凈室兼容
- FC/SMA905 光纖：真空饋通，即插即用，無對準誤差
- >5,000 h 壽命：真空版 5,000 h，大氣版 8,000 h
- 0.3 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
紫外光源氙燈 A3611S
用于半導(dǎo)體膜厚測定
深紫外 DUV 氙燈 · 200-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 < ±0.5 %
半導(dǎo)體膜厚測定 / 反射率 / 橢圓偏振 / UV-Vis 光譜
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體膜厚測定：SiO?、Si?N?、光刻膠、Al?O?、GaN 等 DUV 波段薄膜
- 深紫外氙燈：200-400 nm 峰值，適合 < 10 nm 超薄膜高分辨率
- 高穩(wěn)定性：光強漂移 < ±0.5 %，滿足膜厚重復(fù)性 ≤ 0.1 nm
- Milas 供應(yīng)：日本原廠，真空/大氣雙版本，真空度 ≤ 1×10?? Pa
二、核心技術(shù)參數(shù)（A3611S）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 光源類型 | 深紫外氙燈（DUV-Xenon） |
| 波長范圍 | 200 – 400 nm（峰值 280 nm） |
| 輸出功率 | 150 mW（@ 280 nm，真空版） |
| 穩(wěn)定性 | < ±0.5 %（10 min，恒溫） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置除塵窗） |
| 燈壽命 | >5,000 h（真空版） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含驅(qū)動器） |
| 接口 | FC/SMA905 光纖（真空饋通） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.3 kg（燈頭） |
三、功能亮點
- 200-400 nm DUV：深紫外波段，適合 < 10 nm 超薄膜測定
- 高穩(wěn)定性 < ±0.5 %：膜厚重復(fù)性 ≤ 0.1 nm，無需頻繁校準
- 真空/大氣雙版本：真空度 ≤ 1×10?? Pa，潔凈室兼容
- FC/SMA905 光纖：真空饋通，即插即用，無對準誤差
- >5,000 h 壽命：真空版 5,000 h，大氣版 8,000 h
- 0.3 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
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