技術文章
非接觸式膜厚測量系統FF8的特點
非接觸式膜厚測量系統FF8的特點
特征
測量樣品的反射率（干涉波形），并通過FFT（快速傅里葉變換）或其他方法分析薄膜厚度值。
除了薄膜厚度測量外，還可以測量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 選項包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡、映射測量、顏色測量和組分濃度分析。
測量數據可以保存為文件，以后重新分析。
由于還可以制造連續測量功能、橫移機構和數據通信功能，因此也可以用作在線薄膜厚度測量。
| 測量范圍 （分辨率） | 0.01微米~50微米（0.1納米） |
|---|---|
| 0.5微米~50微米（0.1納米） | |
| 1微米~200微米（0.001微米） | |
| 4微米~800微米（0.001微米） |
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